Vinnureglur tómarúmhúðunarvélar

Tómarúmhúðunarvél er tæki sem setur þunnar málmfilmur á yfirborð undirlags. Grundvallarstarfsreglan er skipt í þrjú skref: hreinsun, uppgufun og útfellingu.
1. Þrif
Fyrir uppgufunarútfellingu verður að þrífa uppgufunarhólfið. Vegna þess að það getur verið oxíð, fita, ryk og önnur efni fest við yfirborð uppgufunarhólfsins, mun þetta hafa áhrif á gæði filmunnar. Þrif notar venjulega efnafræðilegar eða eðlisfræðilegar aðferðir.
2. uppgufun
Æskilegt efni er hitað yfir bræðslumark þess þannig að það myndar loftkenndar sameindir. Loftkenndu sameindunum er síðan sleppt í lofttæmishólfinu inn í uppgufunarhólfið. Þetta ferli er kallað uppgufun. Hitastig, þrýstingur og uppgufunarhraði hafa áhrif á samsetningu, uppbyggingu og eiginleika filmunnar.
3. Útfelling
Loftkenndar sameindir efnisins í uppgufunarhólfinu fara inn í hvarfhólfið í gegnum lofttæmispípuna, hvarfast við virka efnið og setja síðan vöruna á yfirborð undirlagsins. Þetta ferli er kallað setmyndun. Hitastig, þrýstingur og útfellingarhraði hafa einnig áhrif á gæði og frammistöðu kvikmyndarinnar.
2. Umsókn
Tómarúmhúðunarvélar eru mikið notaðar í efnisvísindum, ljósfræði, rafeindatækni og öðrum sviðum.
1. Efnisfræði
Tómarúmhúðunarvélar geta undirbúið þunnar filmur af ýmsum málmum, málmblöndur, oxíðum, silíkötum og öðrum efnum og eru mikið notaðar í húðun, sjónfilmum, sjóngeymslu, skjáum, smári og öðrum sviðum.
2. Ljósfræði
Tómarúmhúðunarvélin getur undirbúið málm- og álfilmur með mikilli endurspeglun og sjónfilmur með sérstökum aðgerðum. Þessar kvikmyndir er hægt að nota í sólarplötur, rafeindasmásjár með miklum afköstum, loftgelum, UV/IR skynjara, sjónsíur og öðrum sviðum.
3. Raftæki
Tómarúmhúðunarvélar geta undirbúið rafeindaefni á nanóskala og örrafræn tæki. Þessar filmur er hægt að nota í nanótransistora, segulminni, skynjara og önnur svið.
Í stuttu máli getur tómarúmhúðunarvélin ekki aðeins undirbúið ýmis þunnfilmuefni, heldur einnig undirbúið þunnt filmur með sérstökum aðgerðum eftir þörfum. Í framtíðinni mun tómarúmhúðunartækni verða meira notuð og kynnt.