Vinnureglur tómarúmhúðunarvélar

Tómarúmhúðunarvél er tæki sem setur þunnar málmfilmur á yfirborð undirlags.Grundvallarstarfsreglan er skipt í þrjú skref: hreinsun, uppgufun og útfellingu.
1. Þrif
Fyrir uppgufunarútfellingu verður að þrífa uppgufunarhólfið.Vegna þess að það getur verið oxíð, fita, ryk og önnur efni fest við yfirborð uppgufunarhólfsins, mun þetta hafa áhrif á gæði filmunnar.Þrif notar venjulega efnafræðilegar eða eðlisfræðilegar aðferðir.
2. uppgufun
Æskilegt efni er hitað yfir bræðslumark þess þannig að það myndar loftkenndar sameindir.Loftkenndu sameindunum er síðan sleppt í lofttæmishólfinu inn í uppgufunarhólfið.Þetta ferli er kallað uppgufun.Hitastig, þrýstingur og uppgufunarhraði hafa áhrif á samsetningu, uppbyggingu og eiginleika filmunnar.
3. Útfelling
Loftkenndar sameindir efnisins í uppgufunarhólfinu fara inn í hvarfhólfið í gegnum lofttæmispípuna, hvarfast við virka efnið og setja síðan vöruna á yfirborð undirlagsins.Þetta ferli er kallað setmyndun.Hitastig, þrýstingur og útfellingarhraði hafa einnig áhrif á gæði og frammistöðu kvikmyndarinnar.
2. Umsókn
Tómarúmhúðunarvélar eru mikið notaðar í efnisfræði, ljósfræði, rafeindatækni og öðrum sviðum.
1. Efnisfræði
Tómarúmhúðunarvélar geta undirbúið þunnar filmur af ýmsum málmum, málmblöndur, oxíðum, silíkötum og öðrum efnum og eru mikið notaðar í húðun, sjónfilmum, sjóngeymslu, skjáum, smára og öðrum sviðum.
2. Ljósfræði
Tómarúmhúðunarvélin getur undirbúið málm- og álfilmur með mikilli endurspeglun og sjónfilmur með sérstökum aðgerðum.Þessar kvikmyndir er hægt að nota í sólarrafhlöður, rafeindasmásjár með miklum afköstum, loftgel, UV/IR skynjara, ljóssíur og önnur svið.
3. Raftæki
Tómarúmhúðunarvélar geta undirbúið rafeindaefni á nanóskala og örrafræn tæki.Þessar filmur er hægt að nota í nanótransistora, segulminni, skynjara og önnur svið.
Í stuttu máli getur tómarúmhúðunarvélin ekki aðeins undirbúið ýmis þunn filmuefni, heldur einnig undirbúið þunnt filmur með sérstökum aðgerðum eftir þörfum.Í framtíðinni mun tómarúmhúðunartækni verða meira notuð og kynnt.